[发明专利]重掺硼硅单晶棒的拉制方法在审
| 申请号： | 201310753695.6 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104746138A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 沈杨宇;韩建超;陈建纲;刘苏生 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg-27kg；封闭热场内氩气流量为50-60L/min；炉内压力为10-15Torr；坩埚转速为5-15rpm。本发明中的重掺硼硅单晶棒的拉制方法，晶棒头部的氧含量低于26ppma；尾部氧含量低于23.9ppma。 | ||
| 搜索关键词： | 重掺硼硅单晶棒 拉制 方法 | ||
【主权项】：
重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg‑27kg；封闭热场内氩气流量为50‑60L/min；炉内压力为10‑15Torr；坩埚转速为5‑15rpm。
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