[发明专利]用于衬底处理腔室的气体供应系统及其方法

摘要

本发明提供用于衬底处理腔室的气体供应系统及其方法，以及用于向衬底处理腔室提供成组的处理气体的气体供应子系统，该成组的处理气体是可用于衬底处理腔室的多种处理气体的子集。气体供应子系统具有的多种气体质量流量控制器的数量少于可用处理气体的数量，其中多种处理气体在一个或多个多种气体质量流量控制器的入口处复用。泵清洗可用来提高用于多种气体的质量流量控制器的气体转换速度。

主权项

一种用于向衬底处理腔室提供成组的处理气体的气体供应子系统，所述成组的处理气体是能用于所述衬底处理腔室的多种处理气体的子集，该子系统包括：多个处理气体导管，其提供多种处理气体；以及多个质量流量控制器，每个质量流量控制器都具有与所述多个处理气体导管中的选择性的导管实现气体连通的输入，所述多个质量流量控制器具有比所述多种处理气体中的处理气体的总数量少的质量流量控制器，其中所述多个处理气体中的至少第一处理气体通过所述多个质量流量控制器中的至少两个质量流量控制器而处于选择性气体流量控制之下，并且其中所述至少两个质量流量控制器中的至少第一质量流量控制器还提供了对所述多种处理气体中的第二处理气体的选择性的气体流量控制。