[发明专利]MEMS麦克风

摘要

本发明提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于基底上的电容系统，电容系统包括背板以及与背板相对且分别设置在背板两侧的第一振膜和第二振膜,所述第一振膜和第二振膜与背板分隔一定距离并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙。该MEMS麦克风还包括分别位于第一绝缘间隙和第二绝缘间隙内的至少一个第一绝缘支撑件和第二绝缘支撑件，MEMS麦克风通电工作时，第一绝缘支撑件或第二绝缘支撑件分别将第一振膜和第二振膜分成了至少两个振动单元，这些振动单元均与背板形成电容，进而提高了MEMS麦克风的整体灵敏度和信噪比，同时这种结构的MEMS麦克风还兼具高声压保护功能，制作工艺不仅简单，而且生产成本低廉。

主权项

一种MEM麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且分别设置在所述背板两侧的第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板分隔一定距离并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，其特征在于：该MEMS麦克风还包括分别位于所述第一绝缘间隙和第二绝缘间隙内的至少一个第一绝缘支撑件和第二绝缘支撑件，所述第一绝缘支撑件与所述第一振膜或背板相连，所述第二绝缘支撑件与所述第二振膜或背板相连；在该MEMS麦克风未通电工作时，所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜相隔一定距离，所述第二绝缘支撑件与所述背板或第二振膜相隔一定距离；在该MEMS麦克风通电工作时，所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜抵接，从而将所述第一振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述背板形成电容，而所述第二绝缘支撑件与所述第二振膜或背板相隔一定距离；或所述第二绝缘支撑件与所述第二振膜或背板抵接，从而将所述第二振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述背板形成电容，而所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜相隔一定距离。