[发明专利]产酸剂和含有它的光刻胶有效
| 申请号： | 201310757451.5 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103913951B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | J·W·撒克里;P·J·拉宝美;J·F·卡梅伦 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 产酸剂和含有它的光刻胶。提供作为光刻胶组合物组分特别有用的产酸剂化合物。在一个优选的方面，提供光刻胶，包括：(i)一种聚合物；(ii)第一鎓盐产酸剂，当光刻胶组合物曝光于活化辐射时，其产生第一种酸；和(iii)第二鎓盐产酸剂，其1)含有共价键合的酸不稳定部分并且2)当光刻胶组合物曝光于活化辐射时，其产生第二种酸，其中第一种酸和第二种酸具有相差至少0.5的pKa值。 | ||
| 搜索关键词： | 产酸剂 含有 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，所述光刻胶组合物包括：(i)一种聚合物；(ii)对应于下式(I)的产酸剂：![]()
其中R1、R2和R3为相同或不同的非氢取代基，且R1、R2和R3可任意合起来形成环，且Z‑为磺酸根部分的α位含有至少一个吸电子取代基的磺酸根阴离子；并且(iii)对应于下式(IV)的产酸剂：![]()
其中R4和R5为相同或不同的非氢取代基并且可合起来形成环；或R4或R5之一可与芳香取代基形成环；A为非氢取代基；m为0‑4的整数；R6为提供酸不稳定部分的非氢取代基；以及Q‑为羧酸根、磺酸根、或氨基磺酸根阴离子，在羧酸根、磺酸根、或氨基磺酸根部分的α位置不包含吸电子基团。
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