[实用新型]OLED玻璃基板蒸镀机有效
| 申请号： | 201320001549.3 | 申请日： | 2013-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN203021641U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 南一虎;金铉东;赵芳 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 刘世平 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种OLED玻璃基板蒸镀机，此OLED玻璃基板蒸镀机包括主挡板和位于主挡板下方的第一点蒸发源和第二点蒸发源，玻璃基板设置于主挡板上方，第一点蒸发源和第二点蒸发源在玻璃基板上的蒸镀范围存在重合区域，还包括子挡板，子挡板设置于玻璃基板下方，且能够遮挡重合区域。通过控制子挡板开启和关闭的时间，使玻璃基板上的重合区域与其他部分附着的蒸镀物质的量接近均衡，改善蒸镀均一性，进而改善玻璃基板上膜层厚度的一致性，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | oled 玻璃 基板蒸镀机 | ||
【主权项】：
OLED玻璃基板蒸镀机，包括主挡板（1）和位于所述主挡板（1）下方的第一点蒸发源（2）和第二点蒸发源（3），玻璃基板（4）设置于所述主挡板（1）上方，所述第一点蒸发源（2）和第二点蒸发源（3）在玻璃基板（4）上的蒸镀范围存在重合区域（6），其特征在于：还包括子挡板（5），所述子挡板（5）设置于所述玻璃基板（4）下方，且能够遮挡所述重合区域（6）。
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