[实用新型]适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统

摘要

本实用新型涉及适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统。包括与第一质量流量计输出口连接的超低浓度配气管和与第二质量流量计输出口连接高浓度配气管，所述超低浓度配气管和高浓度配气管同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计输入口连接零气输入管，所述零气输入管接零气发生器，所述第二质量流量计输入口连接标气输入管，所述标气输入管接钢瓶气。因此，本实用新型具有如下优点：1.能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；2. 混合管采用螺旋状的配比管进行配比混合，舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀。

主权项

一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，包括与第一质量流量计（1）输出口连接的超低浓度配气管（2）和与第二质量流量计（3）输出口连接高浓度配气管（4），所述超低浓度配气管（2）和高浓度配气管（4）同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计（1）输入口连接零气输入管（10），所述零气输入管（10）接零气发生器（7），所述第二质量流量计（3）输入口连接标气输入管（8），所述标气输入管（8）接钢瓶气（9）。