[实用新型]一种底部增强冷却装置有效
| 申请号： | 201320011648.X | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203065635U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 孙建江;袁华中;张喻;朱伟锋;孙力锋 | 申请（专利权）人： | 浙江精功科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种底部增强冷却装置，其包括石英坩埚、石墨坩埚、加热器、热交换台以及石墨立柱；其中，所述石英坩埚放置于石墨坩埚内；所述石墨坩埚置于热交换台上；所述加热器设置于石墨坩埚四周；所述石墨立柱与所述热交换台连接，并能将冷却气体送入热交换台。本实用新型的底部增强冷却装置通过不同的散热冷却作用，控制固液界面形状，并在长晶初期提高过冷度，从而解决大硅锭内部散热难问题，以提高长晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 底部 增强 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种底部增强冷却装置，其特征在于：包括石英坩埚、石墨坩埚、加热器、热交换台以及石墨立柱；其中，所述石英坩埚放置于石墨坩埚内；所述石墨坩埚置于热交换台上；所述加热器设置于石墨坩埚四周；所述石墨立柱与所述热交换台连接，并能将冷却气体送入热交换台。
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