[实用新型]掩模板样品横断面切割工具有效
| 申请号： | 201320028904.6 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN203046015U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 田明静 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模板样品横断面切割工具，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 样品 横断面 切割 工具 | ||
【主权项】：
一种掩模板样品横断面切割工具，其特征在于，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。
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