[实用新型]电子束流大小的导向控制装置有效
申请号: | 201320029727.3 | 申请日: | 2013-01-21 |
公开(公告)号: | CN203085194U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 胡志荣 | 申请(专利权)人: | 江苏达胜加速器制造有限公司 |
主分类号: | G21K1/093 | 分类号: | G21K1/093;G21K1/02 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215214 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电子束流大小的导向控制装置,包括加速管,所述加速管的下端连接有扫描盒,所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈,所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板,所述光阑板的中心开有圆孔。本实用新型解决了现有技术中微安数量级的电子束大小调节困难,无法实现的问题,通过在原有装置的扫描盒与加速管之间加装一光阑板,并在光阑板的中心位置开一圆孔,通过控制导向线圈的电流调节电子束流通过圆孔的束流量,从而实现了对电子束流大小的控制,该装置结构简单,操作方便,且调节幅度大,可方便的将束流减少2个数量级。 | ||
搜索关键词: | 电子束 大小 导向 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种电子束流大小的导向控制装置,包括加速管(1),所述加速管(1)的下端连接有扫描盒(7),其特征在于:所述加速管(1)上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈(3),所述加速管(1)与扫描盒(7)的连接处设置有光阑板(4),所述光阑板(4)的中心开有圆孔(41)。
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