[实用新型]透明光学元件表面缺陷的检测装置有效
| 申请号： | 201320030118.X | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN203069531U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 陈坚;吴周令;吴令奇;黄明 | 申请（专利权）人： | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种透明光学材料表面缺陷的检测装置，采用内全反射式的照明方法，即将照明光束引入到透明光学元件内部，并在透明光学元件内部的前、后表面之间进行多次全反射，对透明光学元件的前、后表面多个区域同时照明，利用表面缺陷所引起的散射光和折射光进行暗场成像来实现对表面缺陷的检测。本实用新型利用内全反射式照明，实现对光能的重复利用，并且可以对多区域同时进行暗场成像检测，特别是适用于大口径的透明光学元件的表面及亚表面缺陷的高灵敏度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 光学 元件 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
透明光学元件表面缺陷的检测装置，包括有照明光源，其特征在于：还包括设置于照明光源发射端和透明光学元件入射侧面之间的照明光束整形处理装置，相对透明光学元件表面设置的成像检测系统。
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