[实用新型]一种薄膜晶体管结构、液晶面板和液晶显示装置有效
| 申请号： | 201320035599.3 | 申请日： | 2013-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203103311U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 曾志远 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种薄膜晶体管结构、液晶面板和液晶显示装置。一种薄膜晶体管结构，包括第一金属层，所述第一金属层上设有绝缘层，其特征在于，所述绝缘层表面覆盖有第二金属层，所述第二金属层在所述第一金属层正上方对应区域设有缺口，所述绝缘层在所述缺口对应区域设有凹槽，所述第二金属层、缺口和凹槽表面覆盖有氧化铟镓锌材质的有源层。本实用新型由于在缺口处进行进一步的蚀刻，在绝缘层的表面蚀刻出凹槽，这样就去除了绝缘层中材质不纯的表面物质，从而提高了TFT的特性效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 结构 液晶面板 液晶 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管结构，包括第一金属层，所述第一金属层上设有绝缘层，其特征在于，所述绝缘层表面覆盖有第二金属层，所述第二金属层在所述第一金属层正上方对应区域设有缺口，所述绝缘层在所述缺口对应区域设有凹槽，所述第二金属层、缺口和凹槽表面覆盖有氧化铟镓锌材质的有源层。
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