[实用新型]一种激光干涉仪光程差定位系统

摘要

本实用新型公开了一种结构简单、紧凑的光路折叠激光干涉仪系统，用于傅里叶变换光谱仪动镜、定镜两路光程差精确定位。通过采用空间上布局紧凑的角锥回射器和反射镜组合，激光干涉仪的动臂光路被折叠4次，干涉仪产生的干涉图样周期缩短4倍。通过过零点检测电路的光电转换，可产生小于100纳米的等光程差间隔脉冲信号，用于触发傅里叶变换光谱仪的探测器对待测信号干涉图样的采样。本实用新型提出的激光干涉仪系统不仅可以将傅里叶变换光谱仪的工作光谱范围向短波段拓展至近紫外(~350纳米)，还同时保持了傅里叶变换光谱仪的高测量精度(Connes)优点。据此实现的紫外-可见光傅里叶变换光谱仪可在化学、生物、医药、材料、光学等诸多领域得到广泛应用。

主权项

一种激光干涉仪光程差定位系统，其特征是，包括一个激光器、一个立方体分束器、一个作为定镜的平面反射镜、一个小角锥回射器、一个大角锥回射器、一个平面反射镜、一个直线平移台和一个光电二极管；所述立方体分束器位于所述激光器的出射光路上，所述作为定镜的平面反射镜位于所述立方体分束器反射光路上，所述小角锥回射器位于所述立方体分束器的透射光路上且锥角朝向所述立方体分束器，所述大角锥回射器位于所述小角锥回射器的透射光路上且锥角背向所述立方体分束器，所述大角锥回射器的直线往复扫描运动由其所处的直线平移台驱动，所述平面反射镜的反射面垂直所述大角锥回射器的回射光路，所述光电二极管位于所述立方体分束器出射光路上。