[实用新型]一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201320041554.7 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN203021646U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 郭爱云;黄国兴;孙桂红;祝海生;梁红;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 43108 | 代理人： | 颜昌伟 |
| 地址： | 411104 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其包括由收卷真空腔体、放卷真空腔体和镀膜真空隧道；所述的镀膜真空隧道竖直设置，镀膜真空隧道的上端与收卷真空腔体连通，镀膜真空隧道的下端与放卷真空腔体连通；所述的镀膜真空隧道，至少一侧面上设有横向阴极布置区。本实用新型采用了竖直方向设置的镀膜真空隧道，在镀膜真空隧道的侧面上横向布置阴极，可以对工件进行双面镀膜和多阴极镀膜，且解决了卧式镀膜方式存在的阴极灰尘掉落的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 哑铃 柔性 材料 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：包括由收卷真空腔体、放卷真空腔体和镀膜真空隧道；所述的镀膜真空隧道竖直设置，镀膜真空隧道的上端与收卷真空腔体连通，镀膜真空隧道的下端与放卷真空腔体连通；所述的镀膜真空隧道，至少一侧面上设有横向阴极布置区。
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