[实用新型]光纤谐振子真空传感器有效
| 申请号： | 201320045398.1 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN203178030U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 夏忠诚;刘月明;吴刚;高晓良 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01L21/22 | 分类号： | G01L21/22;G01N21/45;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种光纤本征谐振子传感器，直接在光纤端面上加工微悬梁谐振子，属于光纤传感器技术领域，特征为：本实用新型包括激光光源、探测器、光纤定向耦合器、匹配液和传感探头。本实用新型实现了光纤本征结构一体化，全光测量，单一光源同时实现谐振子的激励和谐振信号的检出以及在线分布式多点监测。本实用新型在光纤端面和微梁构成法布里-珀罗光学谐振腔，该F-P腔的反射光信号被谐振腔调制，然后沿光纤光路返回，再由光纤耦合器输出端的光电探测器PD进行接受。本实用新型同时考虑到微悬梁的品质因数，来实现对狭小空间的真空度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 谐振子 真空 传感器 | ||
【主权项】：
一种光纤谐振子真空传感器，包括：激光光源、探测器、光纤定向耦合器、匹配液和传感探头，其特征是：激光光源与光纤定向耦合器一侧的一个光纤端口光连接，探测器与光纤定向耦合器一侧的另一个光纤端口光连接，光纤定向耦合器另一侧的一个光纤端口与微梁谐振子光连接，光纤定向耦合器另一侧的另一个端口通过光纤浸入匹配液。
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