[实用新型]可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器

摘要

本实用新型的可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，激光谐振腔、双声光Q开关、两个LD侧面泵浦模块、90°旋光晶体、二倍频晶体、凸透镜组、四倍频晶体、二向色镜组、柱面镜和控制系统，激光器在泵浦下进行腔内二倍频的情况下可产生高功率、高重频的532nm绿激光运转，进而经腔外四倍频方法，可以产生266nm的准连续紫外激光输出。本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，更好的满足实际应用的需求。

主权项

一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，包括：激光谐振腔（1）、第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）、90°旋光晶体（4）、二倍频晶体（5）、凸透镜组（6）、四倍频晶体（7）、二向色镜组（8）、柱面镜（9）和控制系统（10），其中，所述第一声光Q开关（2a）和第二声光Q开关（2b）分别在第一LD侧面泵浦模块（3a）和第二LD侧面泵浦模块（3b）两侧正交放置，第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）和90°旋光晶体（4）位于所述激光谐振腔（1）内，且对称放置，二倍频晶体（5）位于激光谐振腔（1）内紧邻输出端镜放置，所述凸透镜组（6）、四倍频晶体（7）、二向色镜组（8）和柱面镜（9）在激光谐振腔（1）外依次按照光路输出方向共线放置，所述控制系统（10）与所述第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）和第二LD侧面泵浦模块（3b）连接。