[实用新型]晶舟及晶圆存放机构

摘要

本实用新型提供了一种晶舟，所述顶盖的两个相对的边缘分别设有一个宽开口和一个窄开口，在所述宽开口和所述窄开口内还设有两个弧形部，每个所述弧形部包括一个圆弧边缘和一个圆弦边缘，两个所述圆弦边缘分别与所述宽开口和所述窄开口连接，所述顶盖在所述晶圆槽上的垂直投影覆盖所述晶圆。本实用新型在顶盖的两侧设置了弧形部，由于所述弧形部在所述晶圆槽上的投影覆盖了晶圆，从而可以利用所述弧形部对最上层的晶圆进行保护，避免了由于宽开口和窄开口而导致的晶圆缺陷，同时，由于其边缘形状为圆弧边缘，也尽可能地保证了最上层晶圆槽上的晶圆所接受到的工艺处理与其他晶圆槽上的晶圆所受到的工艺处理水平是相同的。

主权项

一种晶舟，包括一个顶盖和若干用以放置晶圆的晶圆槽，所述顶盖平行于所述晶圆槽，所述顶盖的两个相对的边缘分别设有一个宽开口和一个窄开口，另两个相对的边缘平行设置，且在晶圆槽上的垂直投影分别位于晶圆的两侧，其特征在于：在所述宽开口和所述窄开口内还设有两个弧形部，每个所述弧形部包括一个圆弧边缘和一个圆弦边缘，两个所述圆弦边缘分别与所述宽开口和所述窄开口连接，所述顶盖在所述晶圆槽上的垂直投影覆盖所述晶圆。