[实用新型]测量装置有效
| 申请号： | 201320061818.5 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN203100717U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 姜巍 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/16 | 分类号： | G01B21/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种测量装置，包括底座、测量辅助板、两块间隔设置的第一限位块和一块第二限位块，所述测量辅助板铺设于所述底座上，所述测量辅助板的一个表面上设有两个辅助测量部，所述辅助测量部与所述第一限位块一一对应，所述第二限位块的工作面与其中一块第一限位块的工作面垂直相交。在测量的时候，先测量辅助测量部与对应的掩模板测量部之间的距离Y1、Y2，再将该距离Y1、Y2减去对应的测量辅助测量部与对应的第一限位块的工作面之间的距离A1、A2，即可以获知导向块上沿掩模板本体的横向凸出的侧面至对应的掩模板测量部的距离y1、y2，最后计算出该专用掩模板上导向块的倾斜度，由此，实现了专用掩模板的精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种测量装置，其特征在于，包括底座、测量辅助板、两块间隔设置的第一限位块和一块第二限位块，所述测量辅助板铺设于所述底座上，所述测量辅助板的一个表面上设有两个辅助测量部，所述辅助测量部与所述第一限位块一一对应，所述第二限位块的工作面与其中一块第一限位块的工作面垂直相交。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320061818.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
