[实用新型]一种真空腔室U型包网挡板有效
| 申请号： | 201320067079.0 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN203128650U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 田富 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;赵艳 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空腔室U型包网挡板，通过将挡板本体设置成U字型，并U字型开口的底部开设多个通孔，同时在挡板本体的外侧周部上包设不锈钢网，将该U型包网挡板设置于磁控溅射镀膜的真空腔室中，将其置于阴极位与分子泵位之间，真空腔室中产生的气体从通孔中排出，磁控溅射物则能够很好地附着至U型包网挡板的不锈钢网上形成积渣，这有效地减少了积渣发生崩渣、掉渣的现象。当不锈钢网上的积渣达到一定值时，可方便地将该U型包网挡板取出，对其进行拆卸喷砂即可将附着在不锈钢网上的积渣清除掉，其清理过程方便、快捷，减少了换靶的频次，换靶后也无需打磨，大幅地提高了磁控溅射产品的生产效率，同时也保证了产品的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 型包网 挡板 | ||
【主权项】：
一种真空腔室U型包网挡板，其特征在于：所述包网挡板包括不锈钢材料制成的挡板本体，所述挡板本体呈U字型，所述挡板本体的底部开设有多个通孔，所述挡板本体的外侧周部上包设有不锈钢网。
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