[实用新型]复合基板以及功能元件

摘要

一种复合基板（7），具有晶种基板（1）以及氮化镓膜（3），所述晶种基板（1）由通过荧光显微镜观察看到黄色发光效果的氮化镓构成，所述氮化镓膜（3）在所述晶种基板（1）上通过助熔剂法在含氮气氛下由熔液育成，没有看到黄色发光效果。所述复合基板（7）包括被设置于自氮化镓膜（3）的晶种基板（1）侧的界面起50μm以下的区域的分布有源自所述熔液的成分的夹杂物的夹杂物分布层（3a）和被设置于夹杂物分布层上的缺乏夹杂物的夹杂物缺乏层（3b）。

主权项

一种复合基板，其特征在于，是一种具有晶种基板以及氮化镓膜的复合基板，所述晶种基板由通过荧光显微镜观察看到黄色发光效果的氮化镓构成，所述氮化镓膜是在所述晶种基板上通过助熔剂法在含氮气氛下由熔液育成、没有看到所述黄色发光效果的膜，所述复合基板包括被设置于自所述氮化镓膜的所述晶种基板侧的界面起50μm以下的区域的分布有源自所述熔液的成分的夹杂物的夹杂物分布层和被设置于该夹杂物分布层上的缺乏所述夹杂物的夹杂物缺乏层。