[实用新型]一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统有效
| 申请号： | 201320079905.3 | 申请日： | 2013-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203144555U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 祁志国;万永;肖益波;李忠平;朱红娣 | 申请（专利权）人： | 无锡开日能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其利用电磁感应加热技术直接加热坩埚底部的发热体，从而实现热场内部的温度均匀性；同时由于硅熔化之后，其导电性能良好，在电磁波的作用下，产生流动，有利于定向凝固过程中的排除杂质，其结构简单，且确保了热场内部温度的均匀性、晶体之间的晶界上面杂质少。其包括坩埚、外部隔热层、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加热器、四周加热器均位于所述外部隔热层所形成的腔体内，所述顶部加热器位于所述坩埚的上方，所述四周加热器分别位于所述坩埚的四周，其特征在于：所述坩埚的底部支承于发热体，所述发热体支承于保温绝热层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 底部 电磁感应 加热 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其包括坩埚、外部隔热层、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加热器、四周加热器均位于所述外部隔热层所形成的腔体内，所述顶部加热器位于所述坩埚的上方，所述四周加热器分别位于所述坩埚的四周，其特征在于：所述坩埚的底部支承于发热体，所述发热体支承于保温绝热层，所述保温绝热层的底部布置有电磁感应线圈，所述电磁感应线圈外接电源，所述电源外接有电源控制器，所述发热体的底部设置有温度传感器，所述温度传感器外接于所述电源控制器。
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