[实用新型]双头激光蚀刻机有效
| 申请号： | 201320102765.7 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203140978U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 胡兵;应花山 | 申请（专利权）人： | 武汉拓普银光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及激光切割技术领域，具体涉及一种双头激光蚀刻机。它包括机架、工控机、显示器、激光发生系统、振镜、真空吸附平台、CCD定位系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述振镜包括第一振镜和第二振镜，第一振镜和第二振镜并排安装在Z轴运动系统上，位于真空吸附平台上方，第一振镜和第二振镜底部分别设有第一透镜和第二透镜。本实用新型的双头激光蚀刻机相对于现有蚀刻机，增加了一套振镜、激光设备，可同时对两件工件进行加工蚀刻，提高了ITO薄膜刻线的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种双头激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示器、激光发生系统、振镜、真空吸附平台、CCD定位系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、显示器、激光发生系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统都安装在机架上；所述真空吸附平台由X轴运动系统、Y轴运动系统驱动，真空吸附平台上吸附有ITO薄膜；CCD定位系统固定在Z轴运动系统底部与工控机电连接，其特征在于：所述振镜包括第一振镜和第二振镜，第一振镜和第二振镜并排安装在Z轴运动系统上，位于真空吸附平台上方，第一振镜和第二振镜底部分别设有第一透镜和第二透镜。
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