[实用新型]一种光阻瓶更换装置有效
| 申请号： | 201320109794.6 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203101811U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;邢滨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光阻瓶更换装置，该更换装置至少包括：主架和用于辅助更换光阻瓶的抽屉式侧架；所述主架包括主架底板、位于主架底板边缘上的主架侧壁和一个活动挡板；所述主架底板设置有空心层，所述空心层侧面具有一个入口；所述抽屉式侧架包括侧架底板和位于侧架底板边缘上的侧架侧壁，所述侧架底板从空心层的入口推入；藉由所述抽屉式侧架将光阻瓶推到主架上。本实用新型提供的光阻瓶更换装置，通过在主架上设计一抽屉式的侧架，可方便地进行光阻瓶的更换，避免操作员搬运光阻瓶时失误导致泵管脱落而使光阻受到污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阻瓶 更换 装置 | ||
【主权项】：
一种光阻瓶更换装置，其特征在于，所述更换装置至少包括：主架和用于辅助更换光阻瓶的抽屉式侧架；所述主架包括主架底板、位于主架底板边缘上的主架侧壁和一个活动挡板；所述主架底板设置有空心层，所述空心层侧面具有一个入口；所述抽屉式侧架包括侧架底板和位于侧架底板边缘上的侧架侧壁，所述侧架底板从空心层的入口推入；藉由所述抽屉式侧架将光阻瓶推到主架上。
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