[实用新型]用于真空涂层设备的多功能节流真空管道结构及其控制系统有效
| 申请号： | 201320122776.1 | 申请日： | 2013-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN203333738U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿 | 申请（专利权）人： | 广东世创金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人： | 张文雄 |
| 地址： | 510450 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开用于真空涂层设备的多功能节流型管道结构及其控制系统，节流型管道结构包括真空管（3），其特征在于：在真空管（3）中设有连接法兰（1）、密封圈（2）和冷却套（4），在真空管（3）内腔设有若干个节流挡板结构（5），节流挡板结构（5）由挡板连接角度调节单元构成，通过角度调节单元调节挡板的角度控制真空管内的气体通过量以稳定抽速；冷却套（4）环绕在真空管（3）的四周形成对真空管（3）的包裹结构，在冷却套（4）的内腔设有冷媒，冷却套（4）的内腔与连接法兰（1）连通；节流控制系统包括计算机控制系统（10）、真空室（11）、扩散泵（12）和水冷式真空节流连接管。本实用新型具有实现扩散油泵稳速抽气、持续保持真空室高真空的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 涂层 设备 多功能 节流 管道 结构 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
用于真空涂层设备的多功能节流型真空管道结构，包括真空管道（3），其特征在于：在真空管道（3）的两端设有连接法兰（1）和密封圈（2），在真空管（3）的外侧壁设有冷却套（4），在真空管道（3）的内腔设有若干个节流挡板结构（5）；节流挡板结构（5）由挡板连接角度调节单元构成，角度调节单元的驱动输出端与挡板活动连接，通过角度调节单元调节挡板的角度控制真空管道内的气体通过量以稳定抽速；密封圈（2）设置在连接法兰（1）端面的环形凹槽内，冷却套（4）环绕在真空管道（3）的四周，形成对真空管道（3）的包裹结构，冷却套（4）的首、尾端连接到连接法兰（1）的端面上，在冷却套（4）的内腔设有冷媒，冷却套（4）的内腔与连接法兰（1）连通。
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