[实用新型]平面靶材绑定用加热平台有效
申请号: | 201320127912.6 | 申请日: | 2013-03-20 |
公开(公告)号: | CN203181249U | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 周贤界;郑子涛;陈常清;甘志俭;张家燕;江爱萍 | 申请(专利权)人: | 韶关西格玛技术有限公司 |
主分类号: | H05B3/00 | 分类号: | H05B3/00;H05B3/02;C23C14/34 |
代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人: | 刘媖 |
地址: | 512030 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种平面靶材绑定用加热平台。平面靶材绑定用加热平台,包括支架(1),支架(1)上设置有绝缘陶瓷板,陶瓷板上装有电阻丝(2),电阻丝(2)上方从下到上依次设置有导热石墨板(3)、铝合金导热板(4)、柔性导热板(5)、保温罩(6)。本实用新型在铝合金板上再设置一层柔性的导热板,其质地较柔软且导热良好,软性的导热板,用来导热,同时可以防止绑定时硬的铝板对靶材的刮伤,可保证产品的品质。 | ||
搜索关键词: | 平面 绑定 加热 平台 | ||
【主权项】:
一种平面靶材绑定用加热平台,其特征在于:包括支架(1),支架(1)上设置有绝缘陶瓷板,陶瓷板上装有电阻丝(2),电阻丝(2)上方从下到上依次设置有导热石墨板(3)、铝合金导热板(4)、柔性导热板(5)、保温罩(6)。
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