[实用新型]用于低压外延设备的进气口插件

摘要

本实用新型公开了一种用于低压外延设备的进气口插件成对安装于低压外延设备进气口处，使出气侧形成圆弧面，其中：所述进气口插件为一侧面为内凹弧面的长方体；所述进气口插件中间具有一隔离壁G，将所述进气口插件分成内侧出气口H和外侧出气口I；所述内侧出气口为一全敞开式通孔，位于所述隔离壁靠近底面B的一侧；所述外侧出气口为多个导流通孔K组成，位于所述隔离壁靠近顶面A的一侧，所述导流通孔K间距自底面B向顶面A的方向逐渐增大。本实用新型在气流的出气口侧的上部分，形成一具有导流通孔的石英壁，这样气流在到达外侧口的出口侧时被石英壁阻挡，只能通过有限的小孔流入设备腔体内，使晶圆整体的掺杂均匀性提高。

主权项

一种用于低压外延设备的进气口插件，成对安装于低压外延设备进气口处，使出气侧形成圆弧面，其特征在于：所述进气口插件是一侧面为内凹弧面的长方体，其第一侧面（C）与顶面（A）和底面（B）垂直并且与第二侧面（D）的相对，第三侧面（E）和第四侧面（F）相对并且与第一侧面（C）和第二侧面（D）垂直；所述进气口插件中间具有一隔离壁（G），将所述进气口插件分成内侧出气口（H）和外侧出气口（I）；所述内侧出气口为一全敞开式通孔，位于所述隔离壁靠近底面（B）的一侧；所述外侧出气口为多个导流通孔（K）组成，位于所述隔离壁靠近顶面（A）的一侧，所述导流通孔间距自底面（B）向顶面（A）的方向逐渐增大。