[实用新型]大尺寸硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201320136420.3 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN203227626U | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 谌虹毅;陈杰;柏友荣;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴（1）、传动臂（11）以及花篮（21）；支撑轴（1）和花篮（21）之间通过传动臂（11）相互连接；支撑轴（1）内设置有可调频动力轴（2），可调频动力轴（2）上设置有可调频动力轴齿轮（3）；花篮（21）上设置有花篮动力轴（23），花篮动力轴（23）上设置有花篮动力轴齿轮（22）；传动臂（11）内设置有传动链条（12），的可调频动力轴齿轮3和花篮动力轴齿轮（22）之间通过传动链条（12）相互连接。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴（1）、传动臂（11）以及花篮（21）；其特征是：所述支撑轴（1）和花篮（21）之间通过传动臂（11）相互连接；所述支撑轴（1）内设置有可调频动力轴（2），可调频动力轴（2）上设置有可调频动力轴齿轮（3）；所述花篮（21）上设置有花篮动力轴（23），花篮动力轴（23）上设置有花篮动力轴齿轮（22）；传动臂（11）内设置有传动链条（12），所述的可调频动力轴齿轮（3）和花篮动力轴齿轮（22）之间通过传动链条（12）相互连接。
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