[实用新型]TCO透明导电膜的低温沉积装置有效
| 申请号： | 201320138858.5 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN203212630U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种TCO透明导电膜的低温沉积装置，包括至少一个阴极组，各阴极组均匀分布于基片的侧面，每个阴极组独立设置一个中频电源或双极脉冲电源；阴极组包括两个溅射阴极，溅射阴极分别包括靶材、阴极体和磁铁，靶材设于基片侧面，阴极体设于靶材外侧，靶材和阴极体之间设置多个并排分布的磁铁，各磁铁两端分别与靶材和阴极体连接；相邻两个磁铁之间，与靶材连接的一端磁极相反。其工艺是阴极组内分别形成等离子区域，等离子区域覆盖基片侧面，等离子区域内的电子实现高速震荡运动并不断轰击基片侧面，对基片表面已沉积的膜层进行电子轰击及表面加热处理。本实用新型实现了在常温下沉积出高质量的TCO透明导电膜。 | ||
| 搜索关键词： | tco 透明 导电 低温 沉积 装置 | ||
【主权项】：
TCO透明导电膜的低温沉积装置，其特征在于，包括至少一对设于真空镀膜室内的阴极组，各对阴极组分布于基片的一侧或者两侧，每对阴极组独立配置一个中频交流电源或者双极脉冲电源；各对阴极组分别包括两个溅射阴极，各溅射阴极分别包括靶材、阴极体和磁铁，靶材固定在阴极体上，阴极体设于基片的侧面，在阴极体内设置多个并排分布的磁铁，各磁铁的两极端面分别与靶材和阴极体内的导磁块垂直连接；相邻两个磁铁之间磁极性相反。
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