[实用新型]基片加热炉有效
| 申请号： | 201320140023.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203238350U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 吴向方;梁玉生;吴煦 | 申请（专利权）人： | 苏州圆芯光机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C23C16/46;C23C14/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基片加热炉，其包括圆筒形的炉体，所述炉体外壁设置有隔热层，其特征在于：所述炉体内设置与所述炉体同轴的环形电加热丝，及连接所述电加热丝的电极。本实用新型的基片加热炉优化了电加热丝的布局，设置多组电加热丝，且环形设置在炉体内。本实用新型具有加热均匀，其还可进一步通过调节不同组的电加热丝，来实现各区域温度的精细调节等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 加热炉 | ||
【主权项】：
一种基片加热炉，其包括圆筒形的炉体，所述炉体外壁设置有隔热层，其特征在于：所述炉体内设置与所述炉体同轴的环形电加热丝，及连接所述电加热丝的电极；所述电加热丝呈螺旋形设置在所述炉体内侧。
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