[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 201320141001.9 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203212666U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 方金永;王闽;王良文;毛水祥;周敏 | 申请(专利权)人: | 浙江虹宇电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人: | 陈继亮 |
地址: | 324100 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种单晶炉,该单晶炉的三瓣坩埚位于加热器内;保温筒位于加热器外且架在炉底护盘上;导流筒位于三瓣坩埚之上且在保温筒内;下保温碳毡铺设在炉底护盘上,其特征在于在上保温盖与导流筒之间设有增高环,在增高环的外围以及上保温盖与导流筒之间铺设有若干层的上保温碳毡。采用本实用新型,由于增设了增高环,可以在上保温盖下增加保温碳毡,提高了单晶炉的上部保温效果,可降低加热器的功耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种单晶炉,包括保温筒、上保温盖、导流筒、加热器、三瓣坩埚、下保温碳毡和炉底护盘;三瓣坩埚位于加热器内;保温筒位于加热器外且架在炉底护盘上;导流筒位于三瓣坩埚之上且在保温筒内;下保温碳毡铺设在炉底护盘上,其特征在于在上保温盖与导流筒之间设有增高环,在增高环的外围以及上保温盖与导流筒之间铺设有若干层的上保温碳毡。
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