[实用新型]晶砣晶面定向装置有效
| 申请号： | 201320141802.5 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203171857U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 于新现;李斗 | 申请（专利权）人： | 西安神光安瑞光电科技有限公司;西安神光皓瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶砣晶面定向装置，包括：二维数显倾角仪，放置于晶砣晶面上；X射线定向仪，放置于所述晶砣的上方。本实用新型提供的晶砣晶面定向装置，通过二维数显倾角仪对晶砣进行晶面的水平面定向，再通过X射线定向仪检验定向精度。晶砣晶面定向装置能够提高晶体的定向效率，并且提高定向精度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶砣晶面 定向 装置 | ||
【主权项】：
一种晶砣晶面定向装置，其特征在于，包括：二维数显倾角仪，放置于晶砣晶面上；X射线定向仪，放置于所述晶砣的上方。
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