[实用新型]一种掩膜板清洁装置有效
| 申请号： | 201320143056.3 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203170641U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 康玉龙;隆清德;彭川 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供的一种掩膜板清洁装置，包括固定掩膜板且使掩膜板可竖直放置的翻转部件，以及对竖直放置的掩膜板的表面进行清洁的清洁部件。通过将掩膜板固定在竖直方向进行清洁，一方面可以减少清洁部件对于掩膜板的一个表面进行清洁操作时污染物流到另一个表面的可能性，避免交叉污染；另一方面，由于掩膜板在清洁过程中一直处于竖直状态，也可以减少周围环境中的粉尘颗粒掉落到掩膜板表面，造成二次污染的可能性，从而提高了掩膜板的清洁效果。并且，在掩膜板的清洁过程中，无需对掩膜板进行翻面操作，还可以根据需要使用清洁部件对掩膜板的双面同时进行清洁操作，能节省掩膜板清洁的时间，提高清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜板清洁装置，其特征在于，包括：固定掩膜板且使所述掩膜板可竖直放置的翻转部件；以及，对竖直放置的掩膜板的表面进行清洁的清洁部件。
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