[实用新型]蚀刻握持夹具有效
| 申请号： | 201320145466.1 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203238173U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈毓正;吴宗恩;余智林 | 申请（专利权）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;吕俊清 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种蚀刻握持夹具，包括两个侧板、至少一个支持件、多个夹板、至少两个夹板滑棒以及至少一个夹板压棒，所述两个侧板分置左、右两侧，所述至少一个支持件连接于所述两侧板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板，所述至少一个夹板压棒设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。藉此，可用于玻璃片或晶圆蚀刻等工件的握持，使蚀刻液的流场顺畅，玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。本实用新型夹板两侧各设有接触头，用以夹持玻璃片或晶圆等工件，使夹板与工件接触面积减少，增加蚀刻液的流场顺畅。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 夹具 | ||
【主权项】：
一种蚀刻握持夹具，其特征在于，包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；至少一个支持件，所述至少一个支持件连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。
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