[实用新型]MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括由线路板和外壳包围形成的封装结构，封装结构内部设有MEMS声电芯片，线路板上设有声孔，其中，封装结构内部线路板表面设有覆盖声孔的保护件；MEMS声电芯片设置在保护件上并与保护件包围形成第一声腔；保护件上设有连通孔；连通孔将声孔与第一声腔连通。外界气流首先进入声孔，在保护件的作用下将气流起到缓冲的作用，缓冲后的气流通过保护件上的连通孔进入第一声腔内，通过第一声腔实现声压平衡的效果，然后作用到MEMS声电芯片上实现进声效果，防止了外界气流对MEMS声电芯片膜片的冲击，确保了产品的性能。

主权项

一种MEMS麦克风，包括由线路板和外壳包围形成的封装结构，所述封装结构内部设有MEMS声电芯片，所述线路板上设有接收声音信号的声孔，其特征在于：所述封装结构内部所述线路板表面设有能够覆盖所述声孔的保护件；所述MEMS声电芯片设置在所述保护件上并与所述保护件包围形成第一声腔；所述保护件上设有两个以上的连通孔；所述连通孔孔径小于所述声孔孔径；所述连通孔将所述声孔与所述第一声腔连通。