[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 201320175478.9 | 申请日: | 2013-04-09 |
公开(公告)号: | CN203193892U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 王喆;王显彬;刘诗婧 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人: | 王秀芝 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风,涉及电声产品技术领域,包括外壳以及与所述外壳结合为一体的线路板,所述线路板上设有第一声孔,定义所述线路板与所述外壳相结合的一侧为所述线路板的内侧,所述线路板的内侧对应所述第一声孔的位置设有MEMS芯片,所述MEMS芯片通过支撑件安装于所述线路板上,所述支撑件上设有至少两个第二声孔,所述第二声孔孔径尺寸小于所述第一声孔孔径尺寸,各所述第二声孔均位于所述第一声孔的正投影内;所述支撑件上还设有用于防止各所述第二声孔通过的气流相互干扰的隔离板。本实用新型解决了现有技术中MEMS麦克风MEMS芯片容易损坏等技术问题。本实用新型具有使用寿命长、灵敏度高,声学性能好,成品合格率高等优点。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
【主权项】:
MEMS麦克风,包括外壳以及与所述外壳结合为一体的线路板,所述线路板上设有第一声孔,定义所述线路板与所述外壳相结合的一侧为所述线路板的内侧,所述线路板的内侧对应所述第一声孔的位置设有MEMS芯片,其特征在于:所述MEMS芯片通过支撑件安装于所述线路板上,所述支撑件上设有至少两个第二声孔,所述第二声孔孔径尺寸小于所述第一声孔孔径尺寸,各所述第二声孔均位于所述第一声孔的正投影内;所述支撑件上还设有用于防止各所述第二声孔通过的气流相互干扰的隔离板,所述隔离板与所述MEMS芯片位于所述支撑件的同一侧。
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