[实用新型]一种晶圆测试自动传输系统

摘要

本实用新型提供一种晶圆测试自动传输系统，属于半导体设备技术领域。由转动台、传输机械手、左升降机构、右升降机构、左承载台、右承载台、左晶圆片盒、右晶圆片盒以及底座组成，在底座上组装由电机驱动的转动台，在转动台上组装由电机驱动的传输机械手，在转动台的两旁分别组装由电机驱动的左、右升降机构，左承载台与左升降机构固联，右承载台与右升降机构固联，在左承载台上安装左晶圆片盒，在右承载台上安装右晶圆片盒。其特征是所述的传输机械手的端部为O型结构，所述的左、右晶圆片盒以转动台的回转中心对称布置。较现有的晶圆测试自动传输系统，它具有晶圆薄片传输过程中不易形变，无需停机更换片盒，测试系统工作效率高的特点。

主权项

一种晶圆测试自动传输系统，由转动台(2)、传输机械手(3)、左升降机构(5)、右升降机构(1)、左承载台(4)、右承载台(8)、左晶圆片盒(6)、右晶圆片盒(7)、底座(9)组成，在底座(9)上组装由电机驱动的转动台(2)，在转动台(2)上组装由电机驱动的传输机械手(3)，在转动台(2)的两旁分别组装由电机驱动的左升降机构(5)和右升降机构(1)，左承载台(4)与左升降机构(5)固联，右承载台(8)与右升降机构(1)固联，在左承载台(4)上安装左晶圆片盒(6)，在右承载台(8)上安装右晶圆片盒(7)，其特征是所述的传输机械手(3)的端部为O型结构(10)，所述的左晶圆片盒(6)和所述的右晶圆片盒(7)以转动台(2)的回转中心对称布置。