[实用新型]一种扩散炉及其扩散炉用尾气管有效
| 申请号： | 201320181809.X | 申请日： | 2013-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN203270093U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王立建 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源江苏有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉用尾气管，包括排气孔，所述排气孔的个数不少于3个。使用时，将本实用新型提供的扩散炉用尾气管安放在扩散炉上，将待扩散硅片安放在扩散炉中，位于本实用新型提供的扩散炉用尾气管的一侧，扩散源随气体从扩散炉的进气孔进入到扩散炉中，从本实用新型提供的扩散炉用尾气管的排气孔中排出，由于排气孔为不少于3个，这样就可以有效降低扩散炉内炉口炉尾的方块电阻差异，提高方块电阻均匀性，提高电池电性能。本实用新型还提供一种扩散炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 及其 尾气 | ||
【主权项】：
一种扩散炉用尾气管，其特征在于，包括排气孔（6），所述排气孔（6）的个数不少于3个。
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