[实用新型]一种硫化镉化学水浴镀膜反应器有效
申请号: | 201320196358.7 | 申请日: | 2013-04-18 |
公开(公告)号: | CN203270030U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 焦飞;赵夔;陆真冀;江涛 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | C23C18/00 | 分类号: | C23C18/00;H01L31/18 |
代理公司: | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种平板CIGS太阳能电池用硫化镉化学水浴镀膜反应器。本实用新型的硫化镉化学水浴镀膜反应器包括:硫化镉反应器、化学水浴槽、热水循环管道、热水循环加热装置及反应镀液配制装置;进一步,硫化镉反应器包括:注液管、排液管、密封件及两片基片,两基片之间的距离为1~5mm。本实用新型的超薄型的硫化镉反应器把镉化学反应镀液的用量降低到极点,因此,本实用新型降低了成本;大大减少镉污染;节省了运行费和镉渣后处理费;相对可节约工序能耗60%左右;加热速度加快,使工序节拍加快,可提高原有设备产能;镀膜工艺条件更加易于控制,更加均匀化,提高了硫化镉镀膜质量;拆装操作方便;更有利于工艺设备的小型化。 | ||
搜索关键词: | 一种 硫化 化学 水浴 镀膜 反应器 | ||
【主权项】:
一种硫化镉化学水浴镀膜反应器,所述硫化镉化学水浴镀膜反应器为用于平板CIGS太阳能电池的硫化镉化学水浴镀膜反应器,其特征在于,所述硫化镉化学水浴镀膜反应器包括:硫化镉反应器(4)、化学水浴槽(2)、热水循环系统及反应镀液配制装置(8);其中,所述硫化镉反应器(4)放置在化学水浴槽(2)中;所述化学水浴槽(2)与热水循环系统相连接;进一步,所述硫化镉反应器(4)包括:注液管(41)、排液管(42)、密封件(43)及两片基片(44);其中,基片(44)的一面镀有铜铟镓硒薄膜,所述两片基片(44)的镀有铜铟镓硒薄膜的面相对放置;所述两片基片(44)的两端分别设置有密封(43)件;所述注液管(41)和排液管(42)分别通过密封件(43)伸入至两片基片(44)中;所述反应镀液配制装置(8)与注液管(41)相连接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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