[实用新型]一种磁导轨机构有效
申请号: | 201320202946.7 | 申请日: | 2013-04-22 |
公开(公告)号: | CN203313100U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 薛辉;昌江 | 申请(专利权)人: | 芜湖真空科技有限公司 |
主分类号: | H02N15/00 | 分类号: | H02N15/00 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 马荣 |
地址: | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种应用于真空镀膜设备技术领域的磁导轨结构,磁导轨本体(2)上设置三块安装基板(3),三块安装基板(3)的截面呈“n”型结构,安装基板(3)的左安装基板(4)内壁和右安装基板(5)内壁分别设置多排导轨永磁体Ⅰ(6)和多排导轨永磁体Ⅱ(7),工作台车(1)上设置多排台车永磁体(10),磁导轨与工作台车(1)配合工作时,安装台车永磁体(10)的台车上端部(12)设置为嵌装在左安装基板(4)内壁和右安装基板(5)内壁之间的结构,本实用新型所述的磁导轨机构,能够确保工作台车在不同温度条件下都能稳定工作,且永磁体安装拆卸简单方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 导轨 机构 | ||
【主权项】:
一种磁导轨机构,包括磁导轨本体(2),磁导轨本体(2)与工作台车(1)配合工作,其特征在于:所述的磁导轨本体(2)上设置三块安装基板(3),三块安装基板(3)的截面呈“n”型结构,安装基板(3)的左安装基板(4)内壁和右安装基板(5)内壁分别设置多排导轨永磁体Ⅰ(6)和多排导轨永磁体Ⅱ(7),所述的工作台车(1)上设置多排台车永磁体(10),磁导轨与工作台车(1)连接时,安装台车永磁体(10)的台车上端部(12)设置为嵌装在左安装基板(4)内壁和右安装基板(5)内壁之间的结构。
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