[实用新型]一种柔性扩散炉有效
| 申请号： | 201320205534.9 | 申请日： | 2013-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN203256371U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘健 | 申请（专利权）人： | 合肥睿晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 238300 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种柔性扩散炉，包括有净化台、排毒柜、炉体柜、气源柜，所述的净化台与排毒柜连接，排毒柜与炉体柜连接，炉体柜与气源柜连接，本实用具有结构简单、操作方便、扩散效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 扩散 | ||
【主权项】：
一种柔性扩散炉，包括有净化台、排毒柜、炉体柜、气源柜，其特征在于：所述的净化台与排毒柜连接，排毒柜与炉体柜连接，炉体柜与气源柜连接。
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