[实用新型]一种开关管及显示面板有效
| 申请号： | 201320205588.5 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN203225252U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 江政隆;陈柏林 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种开关管及显示面板，其中开关管包括第一电极、形成于第一电极之上的第一绝缘层、形成于第一绝缘层之上的牺牲层、形成于牺牲层之上的第二/第三电极金属层以及半导体层，且所述牺牲层和第二/第三电极金属层在同一位置设有蚀刻开口，其中，对所述牺牲层和第二/第三电极金属层进行蚀刻以形成所述蚀刻开口，并在同等蚀刻条件下所述牺牲层与第一绝缘层的蚀刻选择比大于第一设定值，且所述第一设定值大于1。通过上述方式，本实用新型能够提高开关管的稳定性和电子迁移率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开关 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种开关管，其特征在于，包括：第一电极、形成于所述第一电极之上的第一绝缘层、形成于所述第一绝缘层之上的牺牲层、形成于所述牺牲层之上的第二/第三电极金属层以及半导体层；所述牺牲层和第二/第三电极金属层在同一位置设有蚀刻开口，以使得所述第一绝缘层和半导体层接触；其中，对所述牺牲层和第二/第三电极金属层进行蚀刻以形成所述蚀刻开口，并在同等蚀刻条件下所述牺牲层与第一绝缘层的蚀刻选择比大于第一设定值，且所述第一设定值大于1。
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