[实用新型]半导体产品质量分析流水线有效
| 申请号： | 201320226695.6 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203216530U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 孙力;朱晶川 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;B23K26/36 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体产品质量分析流水线，它从前至后依次包括芯片开封机（3）、清洗机（4）以及显微镜（5），其特征在于芯片开封机（3）的前方还依次设置有X-RAY机（1）以及激光打标机（2）。本实用新型具有可以较高程度还原产品键合状况，分析周期短，效率高、开封成功率高，化学药剂的用量较少，降低环境污染的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 产品质量 分析 流水线 | ||
【主权项】：
一种半导体产品质量分析流水线，它从前至后依次包括芯片开封机（3）、清洗机（4）以及显微镜（5），其特征在于芯片开封机（3）的前方还依次设置有X‑RAY机（1）以及激光打标机（2）。
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