[实用新型]晶圆旋转脱离装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆旋转脱离装置，用于承载固定有一晶圆的一铁环，其包含一磁铁固定座与一铁环座，其中，该磁铁固定座的表面具有多个磁铁与多个弧槽，该多个磁铁与该多个弧槽排列为圆环状，且该多个弧槽为等分均匀分散排列，而该铁环座承载该铁环且具有对应于该多个弧槽的多个滚轮，该铁环座使该多个滚轮间隔开并可相对转动地叠设于该磁铁固定座上，并使该多个滚轮具有位于该多个弧槽内的一固定位置与脱离该多个弧槽的一移载位置，据此当该多个滚轮转动而脱离该多个弧槽时，可使该铁环座与该磁铁固定座之间形成一间隙，据此可以抬高该铁环并减少该多个磁铁固定该铁环的磁力，而方便移载固定有该晶圆的该铁环。

主权项

一种晶圆旋转脱离装置，用于承载固定有一晶圆的一铁环，其特征在于，所述晶圆旋转脱离装置包含：一磁铁固定座，所述磁铁固定座的表面具有多个磁铁与多个弧槽，所述多个磁铁与所述多个弧槽排列为圆环状，且所述多个弧槽为等分均匀地分散排列；一铁环座，所述铁环座承载所述铁环且具有对应于所述多个弧槽的多个滚轮，所述铁环座使所述多个滚轮间隔开并能相对转动地叠设于所述磁铁固定座上，并且所述铁环座使所述多个滚轮具有位于所述多个弧槽内的一固定位置与脱离所述多个弧槽的一移载位置。