[实用新型]带独立真空锁的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201320249172.3 | 申请日： | 2013-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203333755U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种带独立真空锁的真空镀膜装置，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。该装置中，真空锁为独立结构，且设于真空室外部，可以作为单独的组成机构进行装拆，操作方便快捷；同时，真空锁的传动输入装置，可以与真空锁一起通过整体式加工出来，安装方便，安装时不需要对真空室的原有结构进行调整，可较好地保证其密封效果；真空锁可以根据工艺需要整体更换或装卸，可有效提高工艺创新能力，具有广泛的应用前景；同时，真空锁各部件一致，通用性强，可根据需要随时互换，也可进行批量生产组装，可有效降低设备的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 独立 真空 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。
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