[实用新型]一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件有效
| 申请号： | 201320255948.2 | 申请日： | 2013-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN203365372U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 胡明;李明达;曾鹏;马双云;闫文君 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 张宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件，其特征在于，硅基片衬底(1)为n型单晶硅基片，硅基片衬底(1)的上面设置有多孔硅层(2)，多孔硅层(2)上表面设置有铂电极正极(3)和铂电极负极(4)。本实用新型克服了现有技术气敏传感器材料的金属氧化物工作温度过高及传统多孔硅孔道无序分布对气敏性能的不利影响，提供了一种体积小巧、结构简单、使用方便、价格低廉，具有室温下高灵敏度、高选择性与快速响应/恢复特性的多孔硅氨敏传感器元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 室温 探测 多孔 硅氨敏 传感器 元件 | ||
【主权项】：
一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件，包括硅基片衬底和电极，其特征在于，所述硅基片衬底(1)为n型单晶硅基片，硅基片衬底(1)的上面设置有多孔硅层(2)，多孔硅层(2)上表面设置有铂电极正极(3)和铂电极负极(4)。
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