[实用新型]一种新型石墨埚底有效
申请号: | 201320262936.2 | 申请日: | 2013-05-15 |
公开(公告)号: | CN203295654U | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 李广哲;赵聚来 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北省邢台*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种新型石墨埚底,包括埚底本体;所述埚底本体的外侧设有用于承托埚邦底部凸棱的托盘。本实用新型通过在埚底本体上增设的托盘和凸台,增加了埚底承托石墨埚邦的面积和范围,避免了埚邦经过长时间高温使用而老化造成的埚邦变形及上沿直径扩张,使晶体生长过程中晶体生长速度与熔液界面下降速度适中一致来控制单晶直径,减少了埚邦蹭加热器闷炉几率,提升了单晶炉产量成品率,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 石墨 | ||
【主权项】:
一种新型石墨埚底,包括埚底本体(1);其特征在于:所述埚底本体(1)的外侧设有用于承托埚邦底部凸棱(4)的托盘(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁晋晶兴电子材料有限公司,未经宁晋晶兴电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320262936.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种升华法制备氮化铝晶体的生长装置
- 下一篇:一种新型铝电解槽槽上部结构