[实用新型]CIS晶圆成测机有效
| 申请号： | 201320271848.9 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN203275587U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 朱玉萍;岑刚 | 申请（专利权）人： | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽;黄燕石 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴市嘉善*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头，在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。本实用新型的滑动平台的设置使镜头与芯片的对准精确；光源的设置，使成测机结构紧凑，操作方便；镜头和光源的安装方式使镜头和光源更换时方便快速。 | ||
| 搜索关键词： | cis 圆成 | ||
【主权项】：
一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头，其特征在于：在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。
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