[实用新型]封闭式热系统用液相掺杂装置有效
| 申请号： | 201320275045.0 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203307476U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 令狐铁兵;高林育;张明亮;仝泉 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的封闭式热系统用液相掺杂装置，用于直拉法生产易挥发掺杂元素单晶硅生产过程中易熔化元素掺杂。掺杂装置主要由上部挂件（1）、中部空腔（2）、石英罩（8）构成；上部挂件（1）与炉子上轴连接，可上下升降。中部空腔（2）内设置有一个倒立状细管通道（3），下端设置有带均匀刻槽（6）的锥形面（7），底部设有一个石英罩（8）。硅熔体全部熔化后下降炉体上轴，使掺杂装置底部接近熔体表面，利用硅熔体的辐射热量将中部空腔（2）内的掺杂元素（4）熔化，熔化后的掺杂元素（4）通过锥形面（7）上的均匀刻槽（6）和细管通道（3）上的狭窄缝隙（5）流入硅熔体内，达到掺杂的目的，本实用新型安装操作方便，安全性能好，明显的提高了掺杂效率，确保了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 封闭式 系统 用液相 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：所述的封闭式热系统用液相掺杂装置为一体式结构设计，采用高纯石英材料制做，主要由上部挂件（1）、中部空腔（2）、石英罩（8）构成；其中，中部空腔（2）上端的上部挂件（1）与单晶炉的上轴连接，中部空腔（2）内设置有倒立状细管通道（3），中部空腔（2）的下端设置有带均匀刻槽（6）的锥形面（7），底部设有一个石英罩（8）。
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