[实用新型]基板的翻转设备有效

专利信息
申请号: 201320279910.9 申请日: 2013-05-21
公开(公告)号: CN203300613U 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 彭圣醮;程昭荣 申请(专利权)人: 帆宣系统科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 王晶
地址: 中国台湾台北*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型公开了一种基板的翻转设备,包括由设备主体、笼状架体、升降输送单元以及夹持翻转机构,夹持翻转机构设置于设备主体的主架体预定高度位置,当升降输送单元载送置入基板的笼状架体上升至预定高度时,夹持翻转机构能夹持并带动笼状架体翻转一角度,使基板呈立置状态后导送至后续加工流程处;当笼状架体进行翻转的过程中,升降输送单元先下降至一高度位置,待翻转动作完成再度上升承接笼状架体;本实用新型通过夹持翻转机构带动笼状架体进行翻转动作,而能将多数组基板同时进行翻转,以使每一组基板于加工前皆呈间隔立置状态,令后续进行加工时各基板表面加工程度皆能均匀一致,达到快速、节省人力以及提升加工效果、加工效率的目的。
搜索关键词: 翻转 设备
【主权项】:
一种基板的翻转设备,其特征在于包括:一设备主体,具有立向延伸的一主架体,该主架体底部设置有一着置部;一笼状架体,包括由纵、横向间隔交错排列的框条所构成中空笼状型态,该笼状架体的一侧向形成有开放端,且该笼状架体内设置有呈上、下间隔排列的至少两组承载构件,基板由笼状架体的开放端横向置入,令各基板承靠限位于每一组承载构件之间而呈上、下间隔排列状态;一升降输送单元,设置于该设备主体预定位置处,能载送笼状架体并沿着主架体作上升或下降动作;一夹持翻转机构,设置于主架体一预定高度位置处,当升降输送单元载送笼状架体上升至预定高度时,夹持翻转机构夹持并带动笼状架体翻转一角度,笼状架体内的基板呈立置状态后导送至后续加工流程处;在笼状架体进行翻转的过程中,该升降输送单元先下降至一高度位置,待翻转动作完成再度上升承接笼状架体。
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