[实用新型]一种气刀及基板镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种气刀，包括气刀本体；气刀本体具有气体腔室，与气体腔室连通的进气通道，清洁基板时将气体腔室内的气体导向基板被清洁面的排气狭缝，排气狭缝与气体腔室连通；清洁基板时将气体腔室内的气体导向基板边缘的气流通道，气流通道与气体腔室连通；气流通道内具有对气流通道内的气体进行电离的电离元件。上述排气狭缝可以将气体腔室内的气体导向基板的表面，以清洁基板表面的灰尘；上述气流通道可以将气流通道内形成的离子体导向基板边缘，以清除基板边缘的静电。因此，本实用新型不仅能够清洁基板表面的灰尘，而且能够清除基板边缘所产生的静电。本实用新型还公开了一种具有上述气刀的基板镀膜设备。

主权项

一种气刀，其特征在于，包括气刀本体，所述气刀本体具有：气体腔室；与所述气体腔室连通的进气通道；清洁基板时将所述气体腔室内的气体导向基板被清洁面的排气狭缝，所述排气狭缝与所述气体腔室连通；清洁基板时将所述气体腔室内的气体导向基板边缘的气流通道，所述气流通道与所述气体腔室连通，所述气流通道内具有对所述气流通道内的气体进行电离的电离元件。