[实用新型]一种双频离子源有效
| 申请号： | 201320288971.1 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN203260550U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王朝阳;宫睿 | 申请（专利权）人： | 无锡启晖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16;H01J37/08 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双频离子源，包括背板、放电室、栅极和中和器，所述放电室的后端由背板遮盖封闭，背板上设有气体输入孔，栅极安装在放电室前端，中和器设置在栅极等离子体发射口处；所述放电室为圆筒式并分为两段，前段为小直径段，后段为大直径段，在两段放电室外缘设置两级射频感应线圈。本实用新型可以在0.001Pa的低压下正常工作，使镀膜时的工艺范围更宽，离子源的稳定性高，在镀膜过程中束流的误差在正负3%以内，可以连续使用500小时不出故障且离子束污染小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双频 离子源 | ||
【主权项】：
一种双频离子源，包括背板、放电室、栅极和中和器，所述放电室的后端由背板遮盖封闭，背板上设有气体输入孔，栅极安装在放电室前端，中和器设置在栅极等离子体发射口处；其特征在于，所述放电室为圆筒式并分为两段，前段为小直径段，后段为大直径段，在两段放电室外缘设置两级射频感应线圈。
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